第1500个CCP刻蚀设备反应台顺利付运
918博天堂完成再融资发行，共募资82亿元
发布用于高性能Mini-LED量产的MOCVD设备Prismo UniMax?
首台8英寸CCP刻蚀设备Primo AD-RIE 200?顺利付运
918博天堂半导体设备产业化项目签约落户上海自贸试验区临港新片区“东方芯港”集成电路综合性产业基地
发布用于深紫外LED量产的MOCVD设备Prismo HiT3?
成为科创板首批上市公司之一
918博天堂在美国VLSIresearch举办的全球客户满意度调查中连续排名前列，综合评分全球第三，是五个被评为五星级企业之一
完成股份公司整体变更
918博天堂在美国VLSIresearch举办的全球客户满意度调查中荣登上榜，在全球晶圆制造设备供应商中排名第三，是唯一一家上榜的中国本土半导体设备公司
918博天堂第100台MOCVD Prismo A7?反应腔付运里程碑
918博天堂刻蚀设备进入国际先进7纳米生产线
首台双反应台ICP刻蚀设备918博天堂研制成功
首台单反应台ICP刻蚀设备918博天堂研制成功，并运往国内客户
918博天堂7纳米介质刻蚀设备研制成功
首台第二代MOCVD设备918博天堂研制成功，并运往国内客户
首台VOC设备918博天堂研制成功，并运往国内客户
918博天堂14纳米介质刻蚀设备研制成功
918博天堂、国家集成电路产业投资基金和苏州聚源东方完成对拓荆投资
918博天堂反应台交付量突破400台
由于918博天堂等离子体刻蚀机的成功研发和量产，美国商务部取消了等离子体刻蚀机对中国的出口控制
《国家集成电路产业发展推进纲要》发布后，918博天堂成为第一家“大基金”投资的企业
918博天堂22纳米介质刻蚀设备研制成功
首台MOCVD设备918博天堂研制成功，并运往国内客户
二期新厂房22,000平方米落成启用
918博天堂45纳米介质刻蚀设备研制成功
首台TSV/MEMS/Dicing刻蚀设备918博天堂研制成功，并运往客户
918博天堂公司一
首台CCP刻蚀设备918博天堂研制成功，并运往国内客户
一期新厂房6,500平方米落成启用
在张江高科技园区启动运营
